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半导体

半导体

提供高质量、半导体用晶片制造工序中不可缺少的拉晶设备等各种关联机器。

  • 硅片键合系统
    种抛光硅片的设备,把硅片贴在陶瓷载体板上、自动化进行一系列的清洗、加热、硅片的键合、挤压和冷却。
  • 钟罩清洗设备
    种在短时间内更有效地清除钟罩型石英容器的内外的表面的设备。
  • 单晶取出设备
    可以搬运比较重的单晶硅棒。附带冷却装置。
  • 蚀刻设备
    用全自动的混合酸蚀冲洗,消除抛光设备表面所产生,因切割或抛光所产生的加工畸变。
  • 硅片分选机
    将硅片基于测量信息进行分类、存放的 高处理量设备。
  • 研磨垫抛光装置
    可实现产品的高精度,平坦化加工的研磨垫加工。
  • 抛光垫用抛光机
    用于布料状抛光垫的表面抛光等用途。可以做产品的高精度加工 (扁平化)。
  • 柔性拋光机
    种设备,借由引进独家的抛光盘以及吸附系统,而对片状抛光垫进行超高精度的均匀加工和表面修整。
  • 平板抛光装置
    引入独家的抛光盘和吸附系统,实现超高精度,均匀加工以及表面修整。
  • 抛光垫清洗设备
    清洗抛光机的抛光布上,附着的泥浆等异物的设备。可延长抛光布的寿命以及提升再生效率。

  • 坩埚振打设备
    在石英坩埚清洗之后,为了避免颗粒积累,而于出货时进行全自动缠绕的包装机。


  • 石英坩埚自动清洗机
    在一个干净的环境下,对石英坩埚进行刻蚀到洗净的全自动设备。

  • 坩埚检验设备
    在制作石英坩埚时,石英里产生的气泡大小和坩埚强度有很大的关系,这个设备能用图像处理技术,在短时间内测量并检查石英坩埚中的气泡大小与密度。
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